82岁，神龙元年(705年)正月初一，改元神龙。女皇病重。下诏：“自文明以来得罪者非扬、豫、博三州及诸反逆魁首，皆赦免。”二十二日，张柬之、崔玄(日韦合并)等迎太子李显，杀张宗昌、张易之，进至女皇寝宫，逼女皇让位。二十三日，女皇令太子李显监国。二十四日，女皇传位于太子李显。二十五日，太子李显即帝位，为中宗。封相王李旦为太尉，同三品。太平公主加号镇国。令免今岁税赋，放宫女3000人。皇族中的流放者和籍没者，子孙皆复属籍，量叙官爵。二十六日，女皇移居上阳宫。二十七日，中宗李显率百官谒女皇，上尊号“则天大圣皇帝”。二十九日，中宗李显封崔玄(日韦合并)为守内史，敬晖、桓彦范为纳言，张柬之为天官尚书，袁恕己为凤阁侍郎，并同三品。二月初一，中宗率百官诣上阳官问女皇起居，此后每十日一往。初四，中宗复国号为唐，郊庙、社稷、陵寝、百官、旗帜、服色、文字均恢复到永淳以前(高宗时代)的原状。复改神都为东都，北都为并州。五月初四，中宗迁周七庙神主于西京崇尊庙。下诏：“武氏三代讳，奏事者皆不得犯。”立唐太庙社稷于东都，封张柬之等5人为王，降武氏诸王为公。十一月二十六日，女皇崩于上阳宫仙居殿，遗诏去帝号，与高宗合陵。
神龙二年(706年)五月十八日，葬女皇于乾陵。谥曰：“则天大圣皇后”。
景云元年(710年)七月七日，改称“天后”。
景云元年(710年)十月十八日，改称“大圣天后”。
延和元年(712年)六月十七日，改称“则天后”。
天宝八年(749年)六月十五日，追尊为“则天顺圣皇后”。