73岁，万岁通天元年(696年)腊月初一，女皇前往嵩山封禅。十一日，封嵩山为“神岳”，改元万岁登封，改嵩阳县为登封县，改阳成县为告成县。免天下百姓当年租税。三月十六日，新明堂建成，规模小于旧者，名曰通天宫。四月初一，女皇行亲享之礼，改元万岁通天，大赦天下。五月，营州契丹松漠都督李尽忠举兵反叛，攻陷营州。女皇令曹仁师、张玄遇、李多祚、麻仁节等28将讨伐。七月，女皇令武三思为榆关道安抚大使，姚(王寿合并)为副使，防备契丹。契丹李尽忠自称可汗，以孙万荣为先锋，兵至数万。九月二十一日，默啜率部讨伐契丹，女皇封其为迁善可汗。十月，默啜破松漠，虏李尽忠妻子。女皇加封默啜为颉跌利施大单于、立功报国可汗。不久，李尽忠死，孙万荣代领其众，军复振，攻陷冀州，河北震动。
74岁，神功元年(697年)四月初三，九州鼎铸成。五月，女皇令娄师德率兵20万讨伐孙万荣。六月初三，女皇下《暴来俊臣罪状制》，杀来俊臣。三十日，孙万荣败死，余部降于突厥。
75岁，圣历元年(698年)正月初一，女皇祭通天宫，改元圣历。本月，女皇下《条流佛道二教制》，禁止佛、道徒相互毁谤。三月初九，女皇托病，令徐彦伯召回庐陵王李显。二十八日，庐陵王至神都洛阳。八月十一日，武承嗣因求作太子不得忧愤而死。十三日，女皇令武重规、张仁禀、李多祚等率兵30万讨突厥。九月十五日，李旦固请让位于李显，女皇批准，立李显为太子。十七日，命太子为河北道元帅以讨突厥。二十一日，以狄仁杰为河北道副元帅，知元帅事，女皇亲自送行。
76岁，圣历二年(699年)腊月二十五日，女皇赐太子姓武氏。大赦天下。二月，女皇登嵩山，过缑山，谒升仙太子庙，亲书升仙太子碑文，立碑于缑山升仙太子庙。四月，吐蕃赞婆等来降。十八日，女皇为防止身后太子与武姓不相容，令太子、相王、太平公主与武攸暨等作誓文，告天地于通天宫，铭之铁卷，藏入史馆。七月，吐谷浑1400帐归顺。本年，改昊陵为攀龙台，顺陵为望凤台。
77岁，久视元年(700年)正月，以西突厥竭忠事主可汗斛瑟罗为平西大总管，镇守碎叶。三月初六，女皇令东至高丽国，南至真腊国、西至波斯、吐蕃及坚昆都督府，北至契丹、突厥、(特殊字)(特殊字)，并为入蕃，以外为绝域。四月二十九日，女皇在三阳宫避暑，作成《宴石淙诗及序》。五月初五，女皇服长生药病愈，改元久视，大赦天下，去“天册金轮大圣”之号。六月，令契丹降将李楷固击契丹余党，全部平定。七月，吐蕃将领麴莽布支侵犯凉州，围昌松，被唐休(王景合并)打败。十月初十，下诏复以正月为十一月，腊月为十二月，一月为正月。
78岁，长安元年(701年)正月初三，成州言佛迹现，改元大足。八月，苏安恒上表请女皇还政，抑武兴唐。十月，女皇与太子李显、相王李旦等从洛阳回到长安，改元长安，大赦天下。十二月，女皇为其父立大周无上孝明高皇帝碑(又称攀龙台碑)于文水昊陵。
79岁，长安二年(702年)正月十七日，女皇首设武举选将才。六月，女皇为其母立大周无上孝明高皇后碑于咸阳顺陵。十一月一日，封相王李旦为司徒。命苏(特殊字)审查酷吏旧狱，昭雪者众多。
80岁，长安三年(703年)正月初一，女皇令武三思、李峤、朱敬则等修《唐史》。四月初九，吐蕃遣使献马千匹、金二千两求婚。六月初一，突厥默啜又遣使请以女嫁太子之子。
81岁，长安四年(704年)八月，女皇病卧长生殿。十月二十二日，封秋官侍郎张柬之为同平章事。十一月初五，封天官侍郎韦承庆为行凤阁侍郎、同平章事，封张柬之为守凤阁侍郎。